«دَعْواهُمْ»: مبتدأ والهاء مضاف إليه.
«فِيها»: متعلقان بدعواهم والجملة مستأنفة.
«سُبْحانَكَ»: مفعول مطلق لفعل محذوف والكاف مضاف إليه والجملة خبر.
«اللَّهُمَّ»: منادى بأداة نداء محذوفة وحلت الميم محلها وهو مبني على الضم لأنه مفرد علم في محل نصب.
«وَتَحِيَّتُهُمْ»: الواو عاطفة ومبتدأ والهاء مضاف إليه «فِيها» متعلقان بتحية.
«سَلامٌ»: خبر والجملة معطوفة.
«وَآخِرُ»: الواو عاطفة وآخر مبتدأ والجملة معطوفة.
«دَعْواهُمْ»: مضاف إليه والهاء مضاف إليه.
«أَنِ»: مخففة من أن وحركت بالكسر لالتقاء الساكنين واسمها ضمير الشأن والجملة خبر آخر.
«الْحَمْدُ»: مبتدأ.
«لِلَّهِ»: لفظ الجلالة مجرور باللام متعلقان بالخبر المحذوف والجملة خبر أن.
«رَبِّ»: مضاف إليه.
«الْعالَمِينَ»: مضاف إليه مجرور بالياء.